優造節能快速熱退火設備是什么原理，快速熱退火又能起到什么作用呢，接下來為大家講解一下關于退火的原理，快速熱退火設備也即是讓一些高溫的材料快速降溫，達到材料成型的作用，所以，這個退火設備在很多工廠都是必不可少的設備。

快速熱退火設備

　　快速熱退火技術介紹：

　　優造節能快速熱退火 (RTA)技術指的是將晶片，從環境溫度快速加熱至約1000–1500K，晶片達到該溫度后會保持幾秒鐘，然后完成淬火。這種技術主要被應用于薄膜晶體管、太陽電池等器件生產過程中的摻雜、點缺陷退火、雜質激活等高溫( >700 ℃)過程。在低溫器件，如玻璃襯底的多晶硅薄膜太陽電池應用中也具有很大的潛力 。

　　固相晶化非晶硅(a- S i)薄膜法是一種最常見的間接制備多晶硅薄膜方法 。這種技術的優點是能實現薄膜大面積化，且工藝簡單 。但傳統的電熱爐退火進行固相晶化時，晶化時間長達幾個至幾十個小時，耗能及制造成本高 。而采用 RTA，在較高溫度下幾分鐘內就可使非晶硅晶化，而且晶化后的多晶硅膜缺陷較少、內應力小。

快速熱退火設備

　　快速熱退火設備：

　　快速熱退火 (RTA)技術指的是將晶片從環境溫度快速加熱至約1000–1500K，晶片達到該溫度后會保持幾秒鐘，然后完成淬火。這種技術主要被應用于薄膜晶體管、太陽電池等器件生產過程中的摻雜、點缺陷退火、雜質激活等高溫( >700 ℃)過程。在低溫器件，如玻璃襯底的多晶硅薄膜太陽電池應用中也具有很大的潛力 。

　　固相晶化非晶硅(a- S i)薄膜法是一種最常見的間接制備多晶硅薄膜方法 。這種技術的優點是能實現薄膜大面積化，且工藝簡單 。但傳統的電熱爐退火進行固相晶化時，晶化時間長達幾個至幾十個小時，耗能及制造成本高 。而采用 RTA，在較高溫度下幾分鐘內就可使非晶硅晶化，而且晶化后的多晶硅膜缺陷較少、內應力小。

　　在某些領域快速熱退火設備是必不可少，不僅可以快速提高產品的質量，而且能讓退火時間降到最低，這樣產品的產量也就上去了。