退火是金屬冶煉中必不可少的一道工序,在進行退火的時候,就要用到退火爐了。現在的退火爐有很多類型,比如井式退火爐、臺車式退火爐以及臥式連續退火爐。接下來優造節能就給大家介紹什么是退火爐,臥式連續退火爐有哪些特點?
臥式連續退火爐
什么是退火爐
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。優造節能認為,可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構,節電60%。
臥式連續退火爐
臥式連續退火爐有哪些特點
1、材料整個退火工藝過程都置于保護氣氛中,經退火的工件表面光亮無氧化,材料表面不脫碳氧化。
2、由于爐內保護氣由特制風機強對流循環,爐溫均勻,使爐內溫差控制在5℃以內;從而有效保證爐內所有退火材料軟硬一致,便于材料深加工。
3、采用雙爐座升溫、冷卻,準連續作業模式。爐體結構科學合理,節能效果明顯,噸鋼能耗低國內領先。單爐最大裝容達90噸,生產效率高。
4、經該型爐處理的材料表面光亮,免除酸洗工藝,潔凈工作環境,消除了酸污染。
5、整套設備全部微機控制,自動化程度高,能有效保證產品質量和設備安全運行。
退火爐有很多種類型,其中臥式連續退火爐就是比較常見的一種,它的耗電量很低,要比其它退火設備節省60%的能源。
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