工廠在處理金屬方面,會(huì)運(yùn)用到熱處理工藝,其中比較常見(jiàn)工藝是退火。退火原理、目的是什么?退火技術(shù)有哪些分類(lèi)?解決了這些問(wèn)題,可以讓我們更好的了解熱處理工藝這方面的知識(shí)。
退火原理
退火是一種金屬熱處理工藝,指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度,保持足夠時(shí)間,然后以適宜速度冷卻。準(zhǔn)確的說(shuō),退火是一種對(duì)材料的熱處理工藝,包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。
退火目的
(1) 降低硬度,改善切削加工性.
(2)降低殘余應(yīng)力,穩(wěn)定尺寸,減少變形與裂紋傾向;
(3)細(xì)化晶粒,調(diào)整組織,消除組織缺陷。
(4)均勻材料組織和成分,改善材料性能或?yàn)橐院鬅崽幚碜鼋M織準(zhǔn)備。
退火原理
最高加熱溫度
退火的一個(gè)最主要工藝參數(shù)是最高加熱溫度(退火溫度),大多數(shù)合金的退火加熱溫度的選擇是以該合金系的相圖為基礎(chǔ)的。各種鋼(包括碳素鋼及合金鋼)的退火溫度,視具體退火目的的不同而在各該鋼種的Ac3以上、Ac1以上或以下的某一溫度。各種非鐵合金的退火溫度則在各該合金的固相線溫度以下、固溶度線溫度以上或以下的某一溫度。
退火技術(shù)分類(lèi)
半導(dǎo)體退火
半導(dǎo)體芯片在經(jīng)過(guò)離子注入以后就需要退火。因?yàn)橥雽?dǎo)體中注入雜質(zhì)離子時(shí),高能量的入射離子會(huì)與半導(dǎo)體晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子發(fā)生位移,結(jié)果造成大量的空位,將使得注入?yún)^(qū)中的原子排列混亂或者變成為非晶區(qū),所以在離子注入以后必須把半導(dǎo)體放在一定的溫度下進(jìn)行退火,以恢復(fù)晶體的結(jié)構(gòu)和消除缺陷。同時(shí),退火還有激活施主和受主雜質(zhì)的功能,即把有些處于間隙位置的雜質(zhì)原子通過(guò)退火而讓它們進(jìn)入替代位置。退火的溫度一般為200~800C,比熱擴(kuò)散摻雜的溫度要低得多。
退火原理
蒸發(fā)電極金屬退火
蒸發(fā)電極金屬以后需要進(jìn)行退火,使得半導(dǎo)體表面與金屬能夠形成合金,以接觸良好(減小接觸電阻)。這時(shí)的退火溫度要選取得稍高于金屬-半導(dǎo)體的共熔點(diǎn)(對(duì)于Si-Al合金,為570度)。
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